瑞财经 吴文婷近日,成都中科卓尔智能科技集团有限公司(以下简称“中科卓尔”)已完成B轮领投方资金交割。
据了解,本轮融资由中银国际投资发起,旗下科技创新协同发展母基金(以下简称“中银科创基金”)领投,资金将重点解决半导体光刻用石英掩模基板核心工艺研发及国产化关键产线建设资金需求,加速突破量产瓶颈。多家跟投机构亦在快速推进中,合计B轮融资规模数亿元。
公开资料显示,中科卓尔成立于2018年,由中科院光电所杨伟博导领衔组建。
公司突破了半导体掩模版基板精密抛光与镀膜关键技术,具备从工艺到核心设备的研发生产能力,并承担了国家半导体空白掩模版产业链攻关项目。其主要产品覆盖130-250nm制程半导体/显示用空白掩模版(28-90nm产品正在积极储备研发)及相关核心设备。